Поворотное соединение для вакуума / компактное / со встроенным электрическим коллектором

Соединение модели 314 жидкое роторное эффектно совмещает компактное электрическое кольцо выскальзывания с одиночным пропуском вакуума. Оно предлагает гибкость передачи электрических и вакуума через одиночное вращательное соединение. 314 решение низкой цены для совместных заявок полупроводника роторных.

Особенности

Совмещенное компактное электрическое кольцо выскальзывания с одиночным пропуском вакуума
размер порта 0,235 дюймов
Пропуски стандарта 4 электрические расклассифицировали на 0,25 a
Вращательные скорости до 180 rpm (19 rad/s)
Переносит и сетноые-аналогов и цифровые сигналы
Соединитель RJ22

Преимущества

Непрерывное вращение 360°
Стандарты чистой комнаты полупроводника встреч
Уникальный сигнал регулируя технологию с минимальным электрическим линейным шумом