Емкостные датчики наклона от первого датчика основаны на монокристаллическом кремнии и используют новейшие технологии микрообработки. Устройства отличаются большим отношением сигнал/шум и превосходной стабильностью по отношению к температуре, что позволяет им обнаруживать малейшие изменения наклона. Благодаря микроструктурам с высоким аспектным отношением (HARMS) датчики отличаются сверхнизкой чувствительностью к поперечным осям. Кроме того, запатентованная технология AIM (Air gap Insulated Microstructures), обладающая высокой гибкостью, сводит к минимуму паразитные емкости.
Прочие | ||
Производитель | First Sensor AG | |
Артикул | SI | |
Выход | цифровой | |
Технология | емкостный / MEMS | |
Число осей | 2 оси | |
Наклон (°,grad) | -90 / 90 | |
Разрешение (°) | 0,0015 / 0,004 |