Лопастный вакуумный насос / сухой / одноуровневый / гелий

СУХОЙ ВАКУУМНЫЙ НАСОС СЕРИЯ LR/HR/UR
Уникальный подход ULVAC к использованию тепла, выделяемого внутри корпуса сухого насоса, позволяет насосам серии LR/HR/UR работать даже в самых жестких условиях эксплуатации. Компания ULVAC сосредоточила свои усилия на поддержании чрезвычайно равномерной высокой температуры на всех этапах проектирования, что делает насосы этой серии оптимальными для систем CVD и травления. ECO-SHOCK от ULVAC может быть добавлен в насос LR для дополнительной экономии энергии до 70% для любых легких процессов, включая перекачку воздуха или азота. Низкотемпературные насосы: Насосы серии LR предназначены для процессов блокировки нагрузки или PVD.
Уникальная алюминиевая конструкция ULVAC обеспечивает очень равномерное распределение температуры по всему корпусу насоса: Насосы серии HR предназначены для процессов CVD и травления.
Насосы серии ULVAC UR предназначены для применения в системах, где требуется подогреваемый насос, нагретые линии подачи газа и/или нагретые выхлопные линии
Отличная производительность по перекачке гелия : Электродвигатель с экранированием для безопасности и простоты обслуживания
Защита от сбоев питания : Насос выдерживает перебои в подаче питания продолжительностью до 1000 мс.
Превосходная коррозионная стойкость: Внутренние компоненты специально обработаны, что обеспечивает высокую степень поверхностной твердости и коррозионной стойкости. Это предотвращает износ и коррозию внутренних деталей насоса, когда
подверженных воздействию коррозионных газов.
Функция связи: Данные насоса, включая предупреждения и аварийные сигналы, могут быть экспортированы. Доступно обширное управление насосами.
Маркировка CE доступна: Маркировка CE предоставляется по запросу.